Методы контроля герметичности
Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель (далее течеискатель) - устройство задачей которого является контроль герметичности. Функционально течеискатель это масс-спектрометр настроенный на обнаружение гелия. Контроль герметичности гелиевым течеискателем, один из самых чувствительных методов контроля герметичности.
1. Метод вакуумной камеры
Применяется для контроля герметичности объектов предварительно заполненных или опрессованных гелием. Часто такой способ используют для контроля герметичности небольших объектов, например микросхем. Реже методом вакуумной камеры проверяют герметичность больших объектов. Для этого созданы вакуумные камеры объемом в десятки кубических метров.
Контролируемый объект (объекты) помещается в вакуумную камеру. Затем камеру откачивают до высокого вакуума. Это необходимое условие для работы течеискателя. Вакуумные камеры размером до нескольких литров можно откачать течеискателем, для откачки больших камер используют откачные (вакуумные) посты.
Если корпус объекта негерметичен, то гелий через дефект в корпусе объекта проникает внутрь вакуумной камеры. Это происходит из-за разницы давлений внутри корпуса объекта и внутри вакуумной камеры. Течеискатель определяет наличие или отсутствие гелия внутри камеры.
Обратите внимание! Локализовать место течи методом вакуумной камеры нельзя.
2. Метод щупа
Данный метод применяется для контроля герметичности сравнительно больших объектов, предварительно заполненных гелием. Контроль герметичности объекта проводится с помощью щупа, подключенного ко входу течеискателя. Щупы бывают различной длины. Для этого методы мы рекомендуем использовать сверхгибкий щуп “FlexyProbe” длиной от 1 до 20 метров. В процессе контроля герметичности оператор передвигает наконечник щупа вдоль сварных швов объекта (или других потенциально негерметичных участков). Скорость перемещения щупа не должна превышать 1 см в секунду. При наличии негерметичности в объекте, гелий через дефект корпуса объекта попадает в щуп, а по щупу в течеискатель.
Обратите внимание! При контроле герметичности методом щупа, сложно говорить о герметичности объекта. С большой долей вероятности можно утверждать только об отсутствии течи в месте прохождения щупа.
3. Метод обдува
Данный метод применяется для контроля герметичности объектов, внутри которых можно создать высокий вакуум. Контролируемый объект подключается ко входу течеискателя. Для того, чтобы течеискатель смог зафиксировать наличие гелия, объект необходимо откачать до высокого вакуума. Объекты небольшого объема можно откачать течеискателем, для откачки больших объектов используют откачные (вакуумные) посты. После вакуумирования, оператор обдувает корпус объекта гелием снаружи. При наличии негерметичности в объекте, гелий через дефект корпуса попадает внутрь, а затем через внутренние полости объекта в течеискатель.
