EXT556H – серия гибридных турбомолекулярных насосов, объединяющих в себе передовые технические решения. В насосах удачно использованы магнитные и керамические подшипники, а также молекулярный насос Хольвека, установленный на одной оси с ротором турбомолекулярного насоса. В качестве опор используется нижний керамический и верхний магнитный подшипники. Наличие патрубка для установки автоматического клапана напуска газа в насос при его запуске и остановки позволяет исключить поступление паров смазки из нижнего подшипника в откачиваемый объем. В состав насоса входит встроенный контроллер, который совместим с TAG и TIC контроллерами. 

Характеристики: