+7 (812) 372-50-22, +7 (962) 702-80-50 info@gelikonspb.ru 198097, Санкт-Петербург, ул. Трефолева, д. 2, лит. Р, офис 412А

Насос турбомолекулярный Edwards EXT75DX

Насос турбомолекулярный Edwards EXT75DX

 

 

  VacmaLogo 

 


EXT75DX - это гибридный турбомолекулярный насос, объединяющий в себе проверенные технологии нижнего керамического подшипника, сухого магнитного верхнего подшипника и ступень Хольвека. В качестве опор используется нижний керамический и верхний магнитный подшипники. Наличие патрубка для установки автоматического клапана напуска газа в насос при его запуске и остановки позволяет исключить поступление паров смазки из нижнего подшипника в откачиваемый объем. В состав насоса входит встроенный контроллер, который совместим с TAG и TIC контроллерами.

 

Характеристики:

 

Модель

 

 

EXT75DX

   
Входной фланец ISO-K100 ISO-K63 CF-63 ISO-K40
Скорость откачки, л/с:
* N2
He
H2
Ar
61
57
53
-
66
59
54
-
61
57
53
-
42
49
48
-
Предельное остаточное давление с насосом:
пластинчато –роторным, Па;
диафрагменным, Па
5х10-7
5х10-6
 5х10-7
5х10-6
 5х10-8
5х10-7
 5х10-7
5х10-6
Коэффициент компрессии:
N2
He
H2
Ar
<1011
1x106
5x104
 <1011
1x106
5x104
 <1011
1x106
5x104
 <1011
1x106
5x104
Выходной фланец ISO-K16 ISO-K16  ISO-K16  ISO-K16
Рекомендуемый форвакуумный насос Е2М0.7RV5/nXDS5i  Е2М0.7RV5/nXDS5i  Е2М0.7RV5/nXDS5i  Е2М0.7RV5/nXDS5i
Наибольшее рабочее давление, Па:
с водяным охлаждением,
с воздушным охлаждением
2
1
 2
1
 2
1
 2
1
Номинальная скорость вращения, об/мин 90000  90000  90000  90000
Скорость вращения в холостом режиме 49500 - 90000  49500 - 90000  49500 - 90000  49500 - 90000
Время выхода на 90 % от номинальной скорости, минуты 2  2  2
Максимальная температура входного фланца, оС 100  100  100  100
Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА <50  <50  <50  <50
Потребляемая мощность, Вт 120  120  120  120
Скорость откачки промежуточного входа по азоту (Hi версия) л/с 10  10  10  10
Вес, кг 3,0  3,0  4,9  2,9