Насос предназначен для получения высокого и сверхвысокого вакуума в герметичных объёмах. Насос может применяться в гелиевых течеискателях, масс-спектрометрах, вакуумных установках, требующих получения высокого вакуума.
Современный аналог турбомолекулярного гибридного насоса ТМН-150/63, производившегося АО "Завод "Измеритель".
Управление насосом осуществляется с помощью блока управления насосом МБУ-01 или платы-контроллера. Насос представляет собой комбинированную высокооборотную осевую турбину, имеющую в своем составе вязкостную ступень. Привод насоса обеспечивается электродвигателем на постоянных магнитах по схеме трехфазной обмотки со средней точкой.
Особенности конструкции насоса:
-
Компактные размеры;
-
Защита от прорыва атмосферы;
-
Может быть использован при любом положении.
Технические характеристики
| Параметр | ТМН-150М/63 |
|---|---|
| Предельное остаточное давление (Па, не более): | 3х10-6 |
| Входной фланец | ISO-F63 |
| Скорость откачки по гелию (л/с) | 150 |
| Частота вращения ротора (об/мин) | 50 000 |
| Габаритные размеры (мм) | Ø130х135 |
| Масса (кг) | 4,5 |