EXT75DX - это гибридный турбомолекулярный насос, объединяющий в себе проверенные технологии нижнего керамического подшипника, сухого магнитного верхнего подшипника и ступень Хольвека. В качестве опор используется нижний керамический и верхний магнитный подшипники. Наличие патрубка для установки автоматического клапана напуска газа в насос при его запуске и остановки позволяет исключить поступление паров смазки из нижнего подшипника в откачиваемый объем. В состав насоса входит встроенный контроллер, который совместим с TAG и TIC контроллерами.
Характеристики:
| Модель | EXT75DX | |||
|---|---|---|---|---|
| Входной фланец | ISO-K100 | ISO-K63 | CF-63 | ISO-K40 |
| Скорость откачки, л/с: * N2 He H2 Ar |
61 57 53 - |
66 59 54 - |
61 57 53 - |
42 49 48 - |
| Предельное остаточное давление с насосом: пластинчато –роторным, Па; диафрагменным, Па |
5х10-7 5х10-6 |
5х10-7 5х10-6 |
5х10-8 5х10-7 |
5х10-7 5х10-6 |
| Коэффициент компрессии: N2 He H2 Ar |
<1011 1x106 5x104 |
<1011 1x106 5x104 |
<1011 1x106 5x104 |
<1011 1x106 5x104 |
| Выходной фланец | ISO-K16 | ISO-K16 | ISO-K16 | ISO-K16 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос |
Е2М0.7/ RV5/nXDS5i |
Е2М0.7/ RV5/nXDS5i |
Е2М0.7/ RV5/nXDS5i |
Е2М0.7/ RV5/nXDS5i |
| Наибольшее рабочее давление, Па: с водяным охлаждением, с воздушным охлаждением |
2 1 |
2 1 |
2 1 |
2 1 |
| Номинальная скорость вращения, об/мин | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 |
| Скорость вращения в холостом режиме | 49500 - 90000 | 49500 - 90000 | 49500 - 90000 | 49500 - 90000 |
| Время выхода на 90 % от номинальной скорости, минуты | 2 | 2 | 2 | 2 |
| Максимальная температура входного фланца, оС | 100 | 100 | 100 | 100 |
| Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА | <50 | <50 | <50 | <50 |
| Потребляемая мощность, Вт | 120 | 120 | 120 | 120 |
| Скорость откачки промежуточного входа по азоту (Hi версия) л/с | 10 | 10 | 10 | 10 |
| Вес, кг | 3,0 | 3,0 | 4,9 | 2,9 |