EXT556H – серия гибридных турбомолекулярных насосов, объединяющих в себе передовые технические решения. В насосах удачно использованы магнитные и керамические подшипники, а также молекулярный насос Хольвека, установленный на одной оси с ротором турбомолекулярного насоса. В качестве опор используется нижний керамический и верхний магнитный подшипники. Наличие патрубка для установки автоматического клапана напуска газа в насос при его запуске и остановки позволяет исключить поступление паров смазки из нижнего подшипника в откачиваемый объем. В состав насоса входит встроенный контроллер, который совместим с TAG и TIC контроллерами.
Характеристики:
| Модель | EXT556H |
|---|---|
| Входной фланец | ISO-K160/CF160 |
| Скорость откачки, л/с: * N2 He H2 Ar |
540 580 500 510 |
| Предельное остаточное давление с насосом: пластинчато –роторным, Па; диафрагменным, Па |
<10-8 * |
| Коэффициент компрессии: N2 He H2 Ar |
<1010 108 106 >1010 |
| Выходной фланец | ISO-K16 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | RV12/nXDS5i |
| Наибольшее рабочее давление, Па: с водяным охлаждением, с воздушным охлаждением |
1х10-1 5х10-2 |
| Номинальная скорость вращения, об/мин | 50000 |
| Скорость вращения в холостом режиме | - |
| Время выхода на 90 % от номинальной скорости, минуты | 6,5 |
| Максимальная температура входного фланца, оС | 80 |
| Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА | <60 |
| Потребляемая мощность, Вт | 290 |
| Скорость откачки промежуточного входа по азоту (Hi версия) л/с | - |
| Вес, кг | 13,4/21,2 |